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稳定吗？若有明显差异， 如何保障在如此小尺度下电子器件物理 性能的稳定性？这一问题向现代集成电 路产业提出了理论和技术的挑战。室温 下，这种尺度为10nm 以下纳米晶体银颗 粒在挤压、拉伸等外力作用下，会像面团 那样柔软，甚至像液态那样任意变形；更 为奇特的是，外力撤除后，纳米颗粒可以 像电影“终结者3”中的液态金属人那样， 自动恢复其原形！这种奇特的纳米颗粒 塑性形变，超越了传统的金属物理中位 错等缺陷导致的塑性形变理论，在变形 的整个过程中颗粒内部始终保持着完好 的晶态结构。实验 和理论计算表明， 这种变形事实上是 通过纳米银颗粒表 面的一两层原子扩 散以降低表面能来 实现的，类似于 Coble 蠕变。不同的 是，这种塑性变形 又是赝弹性，即可 恢复原形的。这一 发现， 暗 示 随 着 金 属 颗粒尺寸减小，经典的 Hall - Petch 规律中 “越小越强”不 再适用，会逐渐过渡到“越小 越弱”。同时，这项工作对于 如何维持下一代纳米电子器 件中的互连线和电极的稳定 性，以及如何实现超小尺寸 的纳米加工工艺，有着重要 的指导意义。
这项工作是我校传统电 子学科与新兴纳米领域的交 叉与融合的结果，得益于学 校长期对基础研究和国际学术交流合作 的支持与重视。该项目的合作者有浙江 大学张泽院士、麻省理工学院 Ju Li 教授 和匹兹堡大学毛星源教授等，是一项结 合了实验和模拟，通过国际间合作完成 的杰出成果。该项目历时4 年多，得到了 国家自然科学基金、国家“973”计划以及 教育部和江苏省自然科学基金等项目的 共同资助。
我校孙立涛教授课题组近年来依托 原位透射电子显微学技术，已经在微纳米 器件、新型二维材料、纳米金属变形机制 等领域取得了一系列研究成果，相关论文 发表于 Nature Communications, Advanced Materials等国际著名期刊上。 (蒋明霞)